Mikroqurilmalar va tizimlar dizayni, o'lchamlari mikrometr va nanometr diapazonida. Fotolitografiya, kimyoviy va fizik erozya, qoplama, ion implantatsiya kabi jarayonlar. Silikon, polimerlar, keramika, metall qoplamalar. MEMS sensorlari va aktuatorlari, mikrooptronika, biotibbiyot, elektron integratsiya