Mikrozondli tahlil - fokuslangan elektron nurlari yordamida namunadan xarakteristik rentgen nurlarini chiqarishga asoslangan miqdoriy elementar tahlil usuli. EPMA va EDS asbob-uskunalari qo'llaniladi. Standartlar, matriks tuzatishlari va maxsus namuna tayyorlash talab etiladi.